懸臂式三坐標測量機的檢驗標準

更新時間：2025-05-19

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懸臂式三坐標測量機的一些關鍵檢驗要點：

幾何精度檢驗

工作臺面與移動平面平行度：檢驗工作臺面與X、Y移動平面的平行度，確保測量基準的準確性。

移動直線度：檢驗X、Y、Z向移動的直線度，每個坐標軸都有兩個方向的直線度要求。

移動角度變化：檢驗X、Y、Z方向移動的角度變化，每個坐標軸有3個方向的角度變化要求。

移動相互垂直度：檢驗X、Y、Z方向移動的相互垂直度，總共有3個垂直度要求。

測量精度檢驗

示值誤差（MPEE）：沿各坐標軸測得的三坐標測量機位置讀數與基準長度測量系統讀數的差值，主要為坐標位置的點位精度。檢驗時，需通過比較不同長度尺寸實物標準器的校準值和指示值，評價坐標測量機是否符合規定的最大允許示值誤差。通常使用三等量塊作為標準器，在測量空間的多個方向進行測量，重復測量多次以獲取準確數據。

探測誤差（MPEP）：通過確定測量點到最小二乘擬合球球心距離的范圍，評價三維探測誤差是否符合規定的最大允許探測誤差。檢驗時，在標準球上選取多個探測點進行探測，探測點須均布，并計算高斯擬合球以得出探測誤差。

其他性能檢驗

動態誤差：主要來源于測量部件運動過程中由于加速度造成的變形，特別當測量面是曲面時，測量頭作向心加速度運動將產生動態誤差。動態誤差一般不超過靜態誤差的10%~30%。

重復性：在相同條件下，多次測量同一位置的偏差程度。高重復性意味著測量結果更加穩定可靠。

環境適應性：檢驗三坐標測量機在不同溫度、濕度等環境條件下的工作穩定性和測量準確性。

檢驗方法與設備

使用標準器：如量塊、標準球等，作為檢驗的基準。

激光干涉儀：可用于校準三坐標測量機的各軸運動精度，測量各軸在運動過程中的實際位移，并與測量機控制系統所顯示的位移進行對比。

遵循操作規范：嚴格按照測量機的操作手冊和校準規范進行操作，確保檢驗結果的準確性和可靠性。